プロセスオーブンの露点監視

露点監視は、熱プロセスオーブンのプロセス制御を最適化するために必要である。600℃を超える高温のため、サンプリングシステムが一般的に使用されます。サンプリングシステムは、炉内雰囲気（通常は100% N2またはH2とN2の混合）を抽出するポンプで構成されます。試料空気をセンサーに適合する温度まで冷却するため、試料はステンレス製冷却セクションを経由して約50°Cまで冷却され、バイパス測定チャンバーを経由してセンサーに供給されます。典型的な露点は<-40°Ctd.